Rotor tizimi
Quruq vakuum nasosining quvvat yadrosi aniq o'rnatilgan rotor majmuasi bo'lib, odatda ikki-uchta spiral yoki tirnoq shaklidagi -rotorlardan iborat. Bu yuqori{2}}aniqlikdagi metall rotorlar bir-biri bilan mikron{3}}darajali bo'shliqlarga ega bo'lib, gazni kirish portidan egzoz portiga olib chiqish uchun qarshi{4}}aylanishdan foydalanadi. Rotorlarning noyob profili dizayni-masalan, evolyut yoki aylana yoy profillari-nasos samaradorligini belgilaydi; aylanish tezligi 3000–6000 rpm ga yetishi va bir bosqichli siqish nisbati-10:1 dan oshishi mumkin.
Muhrlash tuzilishi
Yog 'muhrlangan nasoslardan farqli o'laroq, quruq nasoslar vakuumning yaxlitligini-uch qavatli yopish mexanizmi orqali saqlaydi:
Labirint qistirmalari: Rotor uchlarida joylashgan ko'p bosqichli, burilishli kanallar sizib chiqmaslik uchun havo oqimi qarshiligidan foydalanadi.
Gaz to'sig'i: pnevmatik bosim to'sig'ini yaratish uchun inert gaz kritik bo'shliqlarga AOK qilinadi.
Ixtisoslashgan qoplamalar: Rotor sirtlari PEEK (polieter eter keton) kabi materiallar bilan qoplangan, bu ham aşınmaya bardoshli, ham ishqalanish koeffitsientini kamaytiradi.
Ushbu dizayn xususiyatlari oqish tezligini 0,5 Pa·m³/s dan past darajada ushlab turadi va shu bilan yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish kabi sanoatning qattiq tozalik talablariga javob beradi.
Sovutish moduli: uzluksiz ishlash uchun "harorat qo'riqchisi"
Yog 'asosidagi moylash-yo'qligi sababli, quruq nasoslar aqlli issiqlik boshqaruv tizimini talab qiladi:
Havoni sovutish: Santrifüj fan bilan bog'langan alyuminiy qotishma issiqlik tarqalish qanotlari hosil bo'lgan issiqlikning 60% gacha tarqaladi.
Suvni sovutish: Ichki mis quvurli suv aylanish doirasi havo sovutishdan uch baravar yuqori issiqlik almashinuvi samaradorligini ta'minlaydi.
Faza-Sovutishni oʻzgartirish: Ayrim modellar issiqlik quvurlari texnologiyasidan foydalanadi va issiqlik oʻtkazuvchanlik darajasi sof misnikidan 100 baravar yuqori.
